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【应用分享】流量校准系统在质量流量测量中的应用


  来源: 福禄克公司 时间:2022-08-24 编辑:清风
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流量的精准测量和控制对于半导体和氢能源等工业领域有着广泛的应用要求。各种质量流量计,质量流量控制器参与到各个工艺过程中,控制着各种不同的气体流量,精确的进行各种化学反应,实现高质量的产品生产和高效率的化学反应。


在半导体的生产工艺中,针对不同的工艺阶段,需要用到各种高纯特种气体,比如掺杂工艺中有砷烷,三氟化磷,乙硼烷等,外延工艺中有四氯化碳,硅烷等,离子注入过程中的各种磷系,砷系和硼系气体等,蚀刻和化学气相沉积中用到的各种氟化物气体等。


在这些工艺中需要高纯度的气体和精准的流量控制,通常由集成供气系统(IGS)来控制和分配, 集成供气系统由诸多的质量流量计/质量流量控制器,压力传感器和各种调节阀等组成。其中的质量流量计(MFM)/质量流量控制器(MFC)对于气体的控制尤为重要,需要时刻保证精准可靠的控制。


在氢能源的应用中,氢燃料电池技术作为氢能源在发电,汽车等领域的应用方向,在近些年发展越来越成熟。


氢燃料电池是将氢气和氧气反应的化学能转换为电能的发电装置,能源利用效率能达到50%以上, 基本原理是将氢气送到燃料电池的阳极板(负极),经过催化剂(铂)的作用,氢原子中的电子被分离出来,失去电子的氢离子(质子)穿过质子交换膜,到达燃料电池阴极板(正极),而电子只能经外部电路,到达燃料电池阴极板,从而在外电路中产生电流。质子到达阴极板后,与氧原子和氢离子重新结合为水。


氢燃料电池系统主要由电堆和系统部件组成,电堆是整个电池系统的核心组件,主要由膜电极等构成的电池单元组成。电池系统部件主要由氢气供气系统,水管理系统和空气管理系统等组成。氢气供气系统负责实时控制氢气的流量,提高氢气的利用效率,水管理系统负责处理反应过程中产生的水,同时负责控制电堆系统的水含量,保障反应的正常进行,提高氢气利用效率。空气管理系统负责提供反应所需的氧化剂(氧气)。



在这些系统中,氢气和空气管理系统都需要准确的控制流量和压力,从而实现最高效率的能源转换。


流量的测量和控制离不开各种质量流量计和控制器,而对于质量流量计和控制器的高效而准确的校准显得尤为的关键。


Fluke molbloc/molbox1+ 气体流量校准系统可用来校准质量流量计,质量流量控制器,转子流量计等气体流量产品,支持多种气体校准,包括空气,氮气,氢气,SF6, 氦气等18种气体,同时还支持客户自定义系数转换,充分满足半导体和氢能源等应用领域的各种气体校准需求。适用于质量流量计/质量流量控制器的生产校准,也可以应用于实验室和产线的工艺参数优化和调整。



molbloc/molbox1+ 气体流量校准系统



・最优不确定度可达0.125%读数,可覆盖大多数精度等级的流量计校准要求

较宽的量程范围比,层流模块支持从最低的10sccm到100slm,音速喷嘴模块最大可以支持到5000slm

测量达到1秒1个读数,高效快捷校准各种流量产品

自带的流量积算功能,可以实现周期内的流量统计

可选搭配COMPASS软件,实现流量校准调整等自动控制要求。


COMPASS® for Flow



基于 COMPASS for Pressure 软件平台,是可定制且启用了宏的质量流量校准软件包。

可执行复杂的实时流量计算以及根据数据改变测试方案

提供测试设置下的整套装置、测试设置和报告生成工具


关键词:流量校准系统 质量 流量 测量    浏览量:3625

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