安徽大学是国家“双一流”建设高校，国家“211工程”建设高校。近日，安徽大学就2022年集成电路先进材料与技术研究设施-光刻效果测量系统采购项目，发布采购预告，预计采购时间定于12月，总预算3690万元人民币。
光刻效果测量系统，主要用于8寸及以下硅晶圆的光刻工艺中的套刻对准精度、线宽、显影和去胶效果的表征测量、以及对芯片进行损伤缺陷分析、分选等。需兼容第二代、第三代半导体材料以及电子元件产品的表征测量。
该系统包括：红外线双面套准检测仪、四探针方阻测试仪、台阶仪、原子力显微镜、3D数码显微镜、射频芯片测试平台、模拟测试系统、高带宽混合示波器、音频信号分析仪、高分辨率芯片显微分析仪、集成电路修补检测系统、芯片分选机、推拉力测试仪及相应测试仪表、X射线检测仪、超声波扫描显微镜等相关设备。
有兴趣的企业不妨留意一下12月的采购信息。
另预告上还计划：
11月采购“光刻加工系统”
10月采购“传统封装硅晶圆切割打标系统”
9月采购“智慧实验室系统”
