3月26日，深圳市工业和信息化局官网公布《深圳市关于推动高端装备产业集群高质量发展的若干措施》（下称《若干措施》）。措施旨在加快推动新产品、新技术与新工艺在工业母机、机器人、精密仪器设备、轨道交通装备、海洋工程装备和高技术船舶等产业集群的研发及产业化应用推广。
《若干措施》强调突破重大装备技术，并给予相应支持。《若干措施》提出，深圳将围绕晶圆制造装备、面板制造前段制程装备，以及具备战略意义的高档数控机床、精密仪器设备、海洋工程装备等，力争实现“从0到1”的突破。
《若干措施》提出，实施重大战略性原创性项目攻关计划。围绕薄膜沉积设备、离子注入机、薄膜量测设备等晶圆制造设备；曝光机等面板制造前、中道制程设备；超精密数控车床、铣床、磨床和复合加工机床；高端电子测试仪器、几何量测仪器、科学实验仪器；重大深海采矿装备等整机和核心零部件，开展重大技术装备攻关项目，按比例最高给予3000万元资助。
《若干措施》全文如下：
深圳市关于推动高端装备产业集群高质量发展的若干措施
为落实市委市政府关于“20+8”战略性新兴产业和未来产业集群发展的规划和部署，增强装备产业集群的基础支撑作用，依据《广东省人民政府关于培育发展战略性支柱产业集群和战略性新兴产业集群的意见》《深圳市人民政府关于发展壮大战略性新兴产业集群和培育发展未来产业的意见》《深圳市委办公厅 市政府办公厅关于加快发展新质生产力进一步推进战略性新兴产业集群和未来产业高质量发展的实施方案》等文件精神，结合我市实际，制定如下措施。
本措施旨在加快推动新产品、新技术与新工艺在工业母机、机器人、精密仪器设备、轨道交通装备、海洋工程装备和高技术船舶等产业集群的研发及产业化应用推广，对符合条件的产品、平台和项目，在产业政策、资金扶持、产业空间、人才奖励、平台服务等方面予以重点支持。针对重大战略性原创性项目，通过“重大科技攻关专项+首台（套）政策+市政府引导基金扶持+后奖补”予以特别支持。
一、突破重大装备技术
围绕晶圆制造装备、面板制造前段制程装备，以及具备战略意义的高档数控机床、精密仪器设备、海洋工程装备等，力争实现“从0到1”的突破，解决尖端技术“卡脖子”问题。
（一）实施重大战略性原创性项目攻关计划。围绕薄膜沉积设备、离子注入机、薄膜量测设备等晶圆制造设备；曝光机等面板制造前、中道制程设备；超精密数控车床、铣床、磨床和复合加工机床；高端电子测试仪器、几何量测仪器、科学实验仪器；重大深海采矿装备等整机和核心零部件，开展重大技术装备攻关项目，按比例最高给予3000万元资助。（责任单位：市科技创新局、市工业和信息化局）
（二）推动重大技术装备验证与应用。通过“试用+提升+采购”应用机制，鼓励下游制造企业首次试用我市企业研制的填补国内空白或打破国际垄断的重大技术装备，按照可对标的同类型设备市场销售价格，按比例对本地制造企业试用用户给予一次性试用补贴，单台装备最高不超过100万元。（责任单位：市工业和信息化局）
（三）引入重大技术装备攻关人才团队。大力引进承担重大技术装备攻关项目任务的人才团队和个人，对于符合深圳市高层次人才相关政策的人才，享受相应高层次人才奖励补贴和杰出人才工作经费资助。（责任单位：市工业和信息化局、市人力资源保障局）
二、突破关键配套基础件
支持装备领域价值占比高、技术难度大、国产化率低的关键配套基础件研制，重点突破高档数控系统、减速器、伺服控制系统、超快激光器等，推动装备企业向产业链、价值链高端环节攀升，着力提升产业链供应链韧性和安全水平。
（四）支持高精密机械结构件等特种材料研制。支持材料企业联合装备企业、科研机构共同研制高性能材料，重点研制减速器、加工刀具、精密轴承、精密丝杆用高强度、耐疲劳金属复合材料、高速电机永磁材料等，对符合条件并列入重点新材料首批次应用示范目录的新材料产品，按照一定期限内销售额，按比例给予最高不超过1000万元资助。（责任单位：市工业和信息化局）
